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簡要描述：半導(dǎo)體材料中高精度元素成分含量檢測儀常用的設(shè)備有電感耦合等離子體光譜儀（ICP-OES）和X射線熒光光譜儀（XRF）。ICP-OES靈敏度高，可檢測ppb級雜質(zhì)，適合痕量及超痕量金屬分析，如高純硅材料中的Fe、Cu等；XRF則具有非破壞性檢測優(yōu)勢，樣品無需溶解，可快速篩查硅片表面金屬污染物，如Fe、Cu，及分析濺射薄膜成分與厚度。兩者結(jié)合可全面滿足半導(dǎo)體材料檢測需求。
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2025-12-31訪 問 量：395產(chǎn)品分類
Product classification詳細(xì)介紹
半導(dǎo)體材料中高精度元素成分含量檢測儀
電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀（ICP-OES）
實驗室使用的儀器（ICP-OES)詳細(xì)簡介：
儀器性能特點(diǎn)：
1、儀器自動化程度高
儀器的自動化程度高，除了電源開關(guān)外，所有操作均由軟件完成。智能化的軟件，可實時可對各項操作進(jìn)行實時反饋及信息提示。
2、安全可靠的固態(tài)射頻電源
儀器采用的射頻電源，具有體積小、輸出效率高、輸出功率穩(wěn)定，帶有水路、氣路及過載等各類安全保護(hù)功能，大大提升儀器的安全性，減小了儀器的故障率。
3、全自動點(diǎn)火及匹配技術(shù)
軟件可全自動一鍵點(diǎn)火，所有的參數(shù)設(shè)置變化，均自動完成。配合自動匹配技術(shù)，點(diǎn)火成功率高，操作簡便。
4、智能化的火焰監(jiān)視功能
儀器配置了靈敏度高的光纖傳感器，可在儀器工作狀態(tài)下，實時監(jiān)測火焰的工作情況，如遇異常熄火情況，可自動關(guān)閉儀器。
5、超高分辨率的光路系統(tǒng)
儀器配置了超高分辨率的4320刻線的進(jìn)口光柵，配合*的光路調(diào)節(jié)技術(shù)，把普通儀器的分辨率約0、008nm降低至0、005nm以內(nèi)，超高的分辨率保證了測試元素之間沒有相互干擾。
6、精度高的恒溫系統(tǒng)
儀器整體光路采用精密恒溫系統(tǒng)保護(hù)，溫度的控制可根據(jù)客戶實驗室實際環(huán)境溫度實時設(shè)定，無需長時間不間斷的開可調(diào)，控溫精度≤±0、1℃，精密的恒溫系統(tǒng)保證了光路的穩(wěn)定性，測試數(shù)據(jù)更穩(wěn)定。
7、高精度的氣流控制系統(tǒng)
儀器工作中的等離子氣、輔助氣、載氣全部采用高精度的質(zhì)量流量控制器（MFC）來控制，具有流量連續(xù)可調(diào)、輸出氣流的精度高，保證了測試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。
8、蠕動泵進(jìn)樣裝置
儀器配置了通道十二滾軸的高精度蠕動泵，可同時保證進(jìn)樣的精度和防止積液，蠕動泵的轉(zhuǎn)速連續(xù)可調(diào)，滿足客戶的多種測試要求。
9、觀測位置自動調(diào)節(jié)
儀器采用二維的移動平臺設(shè)計，可通過軟件實時調(diào)節(jié)炬管的位置，通過反饋的信號值找到優(yōu)化的觀測位置，以獲取較強(qiáng)的靈敏度，得出準(zhǔn)確的測試效果。
10、超低的使用成本
儀器非工作狀態(tài)下儀器電源、冷卻水箱、氣體全部關(guān)閉，不產(chǎn)生任何費(fèi)用，儀器工作即開即用，無需長時間的光路預(yù)熱。使用氬氣純度為99、99*%即可，無需99、999%的高純氬，成本節(jié)約至少三分之一。
11、靈敏度高的檢測器
儀器配置了高靈敏度進(jìn)口光電倍增管（PMT）作為檢測器，可針對不同的待測元素自動設(shè)置測試參數(shù)，以達(dá)到理想的檢測狀態(tài)，給出準(zhǔn)確的測試結(jié)果。無需制冷，無需吹掃，使用壽命長。
ICP-OES儀器技術(shù)參數(shù)：
1、輸入電源：電壓交流220V，電流20A。
2、采用CzernyTurner型光路，焦距為1000mm。
3、離子刻蝕全息光柵，刻劃面積（80×110）mm。
4、全自動一鍵點(diǎn)火，自動匹配，點(diǎn)火穩(wěn)定、便捷。
5、采用同心圓霧化器搭配旋流霧室，1ppmMn強(qiáng)度＞1000000cps。
6、分辨率（Mn257、610nm）：≤0、005nm（4320刻線光柵）；≤0、008nm（3600刻線光柵）；≤0、015nm（2400刻線光柵）。
7、波長范圍：190-460nm（4320刻線光柵）；190-500nm（3600刻線光柵）；190-800nm（2400刻線光柵）
8、自主研發(fā)全固態(tài)射頻電源，輸出功率800-1600W,連續(xù)可調(diào)，電源效率大于65%，工作頻率27、12MHz，頻率穩(wěn)定性＜0、05%，功率輸出穩(wěn)定性＜0、05%。
X射線熒光光譜儀（XRF）
硅片表面金屬污染物快速篩查。
石英坩堝純度驗證。
對輕元素（如H、He、Li、Be）靈敏度低（檢測限>0.1%）。
定量精度受基體效應(yīng)影響（相對誤差約1%-5%）。
非破壞性檢測：樣品無需溶解或研磨，可直接分析固體、粉末、液體。
檢測范圍廣：可分析從鈉（Na）到鈾（U）的絕大多數(shù)元素。
快速篩查：檢測時間僅需幾秒至幾分鐘，適合生產(chǎn)線批量檢測。
波長色散型（WDXRF）：分辨率高，適合高精度定量分析。
能量色散型（EDXRF）：速度快、便攜，適合現(xiàn)場分析。
原理：用X射線照射樣品，激發(fā)特征熒光X射線，通過檢測波長和強(qiáng)度確定元素種類及含量。
分類：
優(yōu)勢：
局限性：
應(yīng)用場景：
應(yīng)用場景：
半導(dǎo)體材料中高精度元素成分含量檢測儀
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